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| 產(chǎn)品等級 | 優(yōu)級品 |
| CAS編號 | |
| 純度 | 98% |
| 別名 | krytox vpf 1525 |
| 密度 | 1.3g/cm3 |
| 產(chǎn)地/廠商 | krytox vpf 1525 |
化學性能非常穩(wěn)定，耐強酸，包括極強的路易氏酸，耐強堿。與接觸的任何特種氣體如氟氣，強腐蝕性物質，強氧化劑，還原劑均不發(fā)生反應
應用：1.用于半導體工業(yè)真空泵油，得到世界*真空泵制造商，如萊寶Leybold、愛德華Edwards、荏原Ebara等的認可。
2.尤其半導體芯片加工過程中的蝕刻和沉淀過程特種氣體處理。
3.其他特種氣體行業(yè)真空系統(tǒng)泵浦中
